Pompa próżniowa jest rodzajem pompy stosowane do tworzenia podciśnienia , to znaczy, aby wyodrębnić powietrza lub innego gazu zawartego w zamkniętej komorze , w celu zmniejszenia jego ciśnienia .
Gazy, które mają być ewakuowane, to z jednej strony gazy obecne na początku ewakuacji (zwykle pod ciśnieniem atmosferycznym), az drugiej strony gazy pochodzące ze zjawisk takich jak naturalne odgazowanie ścianek próżniowych (lub nawet z obszary, które są ogrzewane.), parowanie cieczy poddanej niższemu ciśnieniu, możliwe nieszczelności (rzeczywiste lub wirtualne), przepuszczalność uszczelek lub ścian, a nawet celowe wprowadzanie gazu (procesy produkcyjne lub oczyszczające, w zakresie na przykład półprzewodniki ), parowanie tłuszczu.
Istnieją różne systemy pomp próżniowych, których wybór zależy między innymi od pożądanej jakości próżni. Najpopularniejsze technologie to:
Aby chronić pompy próżniowe przed niektórymi niepożądanymi składnikami fazy gazowej, stosuje się pułapkę. Pułapka ta może być wymrażarką działającą na zasadzie kondensacji , pułapką sorpcyjną działającą na zasadzie sorpcji lub pułapką jonową działającą na zasadzie jonizacji .
Aby zmniejszyć utratę oleju z pompy próżniowej, stosuje się odolejacz. Aby usunąć zanieczyszczenia z oleju, stosuje się oczyszczacz oleju.